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半导体净化工程-洁净车间技术解决方案
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方案概述:

使用半导体洁净无尘车间的相关的技术,对半导体生产车间进行无尘管理

LED/液晶/线路板制造是一种高度精密化的工业,一些细微的环境或操作变动都有可能影响其制造成品的质量,因此制造过程均要求在严格控制下的无尘室中操作。无尘室是一个采用层层过滤以去除空气中微粒存在,并控制室内温度与湿度于恒定状态的密闭空间。 管理办法: 1.半导体洁净无尘车间内部要确保粉尘只出不进,因此洁净无尘车间室内要保持大于大气压的环境。这就需要用大型鼓风机将经净化设备的空气源源不绝地打入洁净车间中。 2.为保持恒温与恒湿,大型空调设备须搭配前述之鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。 3.所有经净化设备的空气流动方向均由上往下为主,因此,洁净无尘车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀,使尘埃细菌等在洁净无尘车间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。 4.所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。 5.所有人或事物进出洁净无尘车间,人必须穿配套防尘服,人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。 6.半导体洁净无尘车间内水的使用只限用去离子水。一则防止水中粉粒污染晶圆,二则防止水中重金属离子(如钾、钠离子)污染金氧半晶体管结构之带电载子信道,影响半导体组件的工作特性。去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,在半导体工业之使用量极为惊人! 7.半导体洁净无尘车间所有用得到的气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气 (98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。 洁净无尘室的功能目的如下表所述: LED/液晶/线路板洁净无尘室除了要完成上述的功能、目的外,因为制造过程中工艺生产设备都是在洁净无尘室内操作的,以供生产工艺机台使用。 洁净无尘室与各系统关系如下: 为了达到洁净无尘室的功能目的与制造过程设备支持以及系统动力需求、人员操作安全等,在洁净无尘室的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防安全报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。 在上述众多的施工安装工程中,除了工期紧迫、交叉施工多、工序组织难度高外,更要遵循洁净室内的建造管理原则,因此,除非由具有丰富经验的专业管理团队来担任此艰巨任务,否则是难以圆满完成的。 作为置放生产机台主体的洁净室,其在整体工程的重要性不言而喻,做好洁净无尘室的施工管理,就等于为未来生产的顺利成功打下了坚实的基础。洁净无尘室功能目的的三大控制重点粉尘、温度、湿度,是由气密、回风、过滤、冷却、新风等来主宰,而完成这些功能的系统设备就是构成洁净无尘室的主体:内装(吊顶、墙板)、DCC、 MAU、FFU。
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